Механична помпа за свръхвисок вакуум

Механичните бустерни помпи с ултра висок вакуум (UHV) (бустерните помпи на Roots) увеличават пропускателната способност на газа във вакуумни системи с ниско-налягане, където се изисква висок капацитет на изпомпване и бързи-времена на изпомпване.
Работейки заедно със съвместима опорна помпа (като суха вакуумна помпа или помпа с ротационни лопатки), бустерът използва механично действие с положително-изместване, за да прехвърли газ от страната на камерата към поддържащото ниво. Това значително увеличава ефективната скорост на изпомпване в обхвата на средно до ултра-високо вакуумно налягане.

Технически спецификации

Параметър	Спецификация / Изискване за избор	Инженерни съображения
Тип продукт	UHV механична бустерна помпа (принцип на Roots)	Положителен{0}}ускорител с висока-производителност
Стандарти за фланци	ISO-K / ISO-F, CF фланци или потребителски	Избран въз основа на проводимостта и целостта на UHV уплътнението
Диапазон на скоростта на изпомпване	Зависи-от модела (Вижте кривите на ефективността)	Трябва да се изчисли заедно с проводимостта на системната линия
Работно налягане	Среден вакуум до ултра висок вакуум (UHV)	Управлява се от пълна помпена линия и обезгазяване на камерата
Съвпадение на опорната помпа	Суха помпа, ротационна лопатка или ротационно бутало	Подкрепящият капацитет трябва да съответства на изпускателния поток на бустера
Максимално диференциално налягане	Модел-специфична граница на допустимото налягане (Делта P max)	Предотвратява термично претоварване и механично натоварване
Вакуумни-странични материали	Неръждаема стомана, обработени сплави, специални покрития	Ниска скорост на отделяне на газове и химическа устойчивост
Конфигурация на запечатване	Еластомер (FKM/FFKM) или метални уплътнения (CF)	Избран въз основа на скоростта на изтичане на хелий и границите на изпичане
Скорост на изтичане на хелий	До 1 x 10^-10 mbar L/s	Проверен чрез детектор за течове на масспектрометър

Ръководство за избор и интегриране

За да изберете правилната бустер помпа на Roots и да осигурите безпроблемна интеграция във вашата вакуумна система, оценете следните работни точки:
Скорост на изпомпване и целево налягане:Изчислете необходимата ефективна скорост на изпомпване на входа на камерата, като вземете предвид проводимостта на тръбопровода.
Газово натоварване и технологична среда:Идентифицирайте състава на технологичния газ, корозивните свойства, праховите частици и скоростите на отделяне на газ от материала.
Съвместимост с опорна помпа:Уверете се, че поддържащата помпа се справя с изпускателния обем, без да превишава максимално допустимото диференциално налягане (Делта P max).
Термични и системни блокировки:Конфигурирайте превключватели за налягане, задвижвания с променлива честота (VFD) и блокировки за охлаждане, за да избегнете механични претоварвания по време на фазите на груба обработка.

Типични приложения

Полупроводници и електроника:Евакуиране и манипулиране на технологичен газ за помощни инструменти за ецване, CVD и литография, изискващи ниско замърсяване.
Нанасяне на тънък{0}}слой и покритие:Поддържа стабилно работно налягане по време на-процеси на PVD, разпрашване и оптично покритие с висока производителност.
Изследователски лаборатории:Високо{0}}надеждна вакуумна производителност за камери за физика на частиците, наука за повърхността и космически симулации.
Вакуумни пещи и обработка:Ефективно се справя с големи газови натоварвания по време на високо{0}}температурно обезгазяване, вакуумно спояване и топлинна обработка.

Контрол на качеството и документация

Надеждността на UHV изисква строги стандарти за производство и проверка:
Обработка на чиста стая:Много{0}}етапно ултразвуково почистване, обезмасляване с разтворители и-опаковки без прах, за да се осигури ниско отделяне на газове.
Тестване на прецизност:Динамично балансиране на ротора, проверка на размерите и тестване за теч на хелий с масспектрометър.
Документи за доставка:Специфични за модела криви на скоростта на изпомпване, CAD/STEP контурни чертежи, електрически спецификации на двигателя, сертификати за материали и доклади от тестове за течове.

ЧЗВ

В: Каква е основната функция на механичната бустер помпа със свръхвисок вакуум?

О: Механична бустерна помпа със свръхвисок вакуум увеличава ефективната скорост на изпомпване и пропускателната способност на газа във вакуумни системи с ниско-налягане. Той прехвърля газ от вакуумната камера към поддържаща помпа, което позволява бърза евакуация и по-висока производителност при максимално налягане.

Въпрос: Може ли механична бустер помпа на Roots да работи независимо без помощна помпа?

A: Не. Механичната бустер помпа изисква подходяща поддържаща помпа (като суха помпа или помпа с ротационни лопатки) за изпускане на газ до атмосферно налягане.

Въпрос: Защо трябва да избягвам избора на бустерна помпа въз основа само на номиналната скорост на изпомпване?

О: Номиналната скорост на изпомпване представлява идеалното изместване без отчитане на реалните-системни загуби. Действителната производителност зависи от-проводимостта на вакуумната линия, капацитета на поддържащата помпа, работното налягане и газовото натоварване на камерата.

В: Как да предотвратя топлинно претоварване по време на работа на бустерната помпа?

О: Термичното претоварване се предотвратява чрез поддържане на работното налягане в рамките на допустимата диференциална граница (Делта P max). Използването на предпазен клапан за налягане, задвижване с променлива честота (VFD) или превключвател за налягане за управление на стартирането-на усилвател предпазва помпата от прекомерно натоварване с газ.

В: Какви предпазни мерки за UHV чистота се вземат по време на производството?

О: За UHV обслужване компонентите от-вакуумната страна се подлагат на специализирани почистващи процеси, като например ултразвуково обезмасляване, за елиминиране на въглеводородни остатъци.

Популярни тагове: механична бустер помпа с ултра висок вакуум, Китай механична бустер помпа с ултра висок вакуум производители, доставчици, фабрика, вакуумна помпа за приложения с изключително висок вакуум, вакуумна помпа за вакуумно формоване, Услуга за модернизиране на вакуумна помпа, Съответствие на вакуумната помпа с RoHS, вакуумна помпа с прахоустойчив мотор, вакуумна помпа с резервни части