Вакуумна помпа InPower Dry vane, използвана в полупроводниковата индустрия за създаване на чиста и суха вакуумна среда. намират широк спектър от приложения в полупроводниковата индустрия благодарение на тяхната чистота, надеждност и ефективност. Тези помпи са от съществено значение за процеси като химическо отлагане на пари, физическо отлагане на пари, йонна имплантация и ецване.
Характеристика:
Вакуумната помпа със суха лопатка е вид вакуумна помпа, която съчетава предимствата на технологията със сухи винтове с водно охлаждане, за да подобри производителността и ефективността. Тя предлага надеждно, ефикасно и изискващо малко поддръжка решение за взискателни вакуумни приложения, които изискват както суха работа, така и ефективно разсейване на топлината.
Модел: LGB30/50/70/110/150/180/200/220/270/300/360/400/500
Максимален вакуум: По-малко или равно на 1Pa
СКОРОСТ 50 Hz:30-500 L/s
СКОРОСТ 60 Hz:36 - 600 L/s
|
Модел |
ЛГБ30 |
ЛГБ50 |
ЛГБ70 |
ЛГБ110 |
ЛГБ150 |
ЛГБ180 |
ЛГБ200 |
ЛГБ220 |
ЛГБ270 |
ЛГБ300 |
ЛГБ360 |
ЛГБ400 |
ЛГБ500 |
||
|
СКОРОСТ (50Hz) |
L/s |
30 |
50 |
83 |
110 |
150 |
180 |
200 |
230 |
270 |
300 |
360 |
360 |
500 |
|
|
m3/h |
110 |
180 |
300 |
400 |
540 |
650 |
720 |
830 |
970 |
1080 |
1300 |
1500 |
1800 |
||
|
Максимален вакуум (50Hz) |
татко |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
|
|
Максимално налягане на отработените газове |
бар |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.5 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
1.2 |
|
|
МОЩНОСТ (50Hz) |
КВт |
4 |
4 |
5.5/7.5 |
11 |
15 |
15 |
18.5 |
18.5 |
22 |
30 |
37 |
37 |
37 |
|
|
Скорост на двигателя (50Hz) |
об/мин |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
|
|
Свържете се |
В |
мм |
50 |
50 |
65 |
65 |
100 |
100 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
150 |
|
ВЪН |
мм |
40 |
40 |
65 |
65 |
80 |
80 |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
100 |
|
|
вода |
Поток |
L/мин |
6 |
6 |
10 |
15 |
20 |
20 |
25 |
25 |
28 |
28 |
28 |
28 |
28 |
|
налягане |
MPa |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
0.2-0.35 |
|
|
Свържете се |
G3/8" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
G1/2" |
||
|
Метод на охлаждане |
Въздух/Вода |
Въздух/Вода |
вода |
вода |
вода |
вода |
вода |
вода |
вода |
вода |
вода |
вода |
вода |
вода |
|
|
Шум |
dB |
75 |
75 |
75 |
76 |
76 |
78 |
78 |
78 |
80 |
80 |
85 |
85 |
85 |
|
|
Тегло |
Килограма |
310 |
310 |
475 |
570 |
840 |
840 |
1200 |
1220 |
1250 |
1300 |
1350 |
1380 |
1400 |
|
|
Специални изисквания |
Според изискванията, той може да бъде конфигуриран с променлива честота, антикорозионен, взривозащитен и др. |
||||||||||||||
inPower Dry vane Вакуумна помпа Област на приложение:
Производство на полупроводници:
При процеси на производство на полупроводници, като CVD, PVD, йонна имплантация и ецване, сухите винтови вакуумни помпи с водно охлаждане помагат да се поддържат необходимите нива на вакуум, като същевременно предлагат ефективно разсейване на топлината, за да се осигури постоянна производителност.
Отлагане на тънък филм:
Сухите винтови помпи с водно охлаждане се използват в техники за отлагане на тънък слой, като разпрашване и изпаряване, където прецизният контрол на вакуума и управлението на топлината са от съществено значение за отлагането на равномерни тънки филми върху субстрати.
Процеси на топлинна обработка:
Индустриите, участващи в процесите на термична обработка, като металургията и космическата промишленост, разчитат на водно охлаждани сухи винтови вакуумни помпи, за да създадат вакуумна среда за отгряване, спояване и други високотемпературни обработки, като същевременно поддържат системата хладна.
Химическа и фармацевтична обработка:
Сухите винтови помпи с водно охлаждане играят решаваща роля в приложенията за химическа обработка, където поддържането на чист, сух вакуум е необходимо за реакции, дестилация и процеси на възстановяване на разтворителя.
Проучване и развитие:
Лаборатории и изследователски съоръжения в различни индустрии използват сухи винтови вакуумни помпи с водно охлаждане за тестване и експериментиране, осигурявайки надеждни вакуумни условия за изучаване на материали, процеси и оборудване.
Популярни тагове: вакуумна помпа със суха лопатка, Китай производители на вакуумна помпа със суха лопатка, доставчици, фабрика, Вакуумни помпи за сух винт с въздух, Автоматизация на вакуумната помпа, система за контрол на вакуумната помпа, вакуумна помпа бъдещи перспективи, Интеграция на вакуумна помпа, Интерфейс на вакуумната помпа
